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目前工业内窥镜所采用的先进测量技术，当属相位扫描三维立体测量技术，了解其原理之前，先简要介绍光学测量。 光学测量主要用于测量物体位移、变形、三维形貌等，其核心在于利用光干涉法或投影条纹法，得到具有载频的变形条纹图，然后从变形的条纹图中提取代表特定物理量的相位信息，这个过程也称为解调，用的比较多的相位解调方法有相移法和傅里叶变换法等。 相位扫描三维立体测量技术就是上述光学测量原理在内窥检测设备中的应用。具体在测量时，内窥检测设备通过镜头上的光栅出口，向被检物体表面投射光栅，同时内窥检测设备的CCD捕获被检物体表面影像时，得到的是具有载频的变形条纹图，含有相位信息，采用相应的解调算法处理后，就可以提取被检物体的三维形貌。 这种技术的优势在于可以获取被检物体的三维立体轮廓，属于真正意义上的三维空间立体测量技术。用户首先使用内窥镜找到被检物体的缺陷，例如凹坑，然后使用上述测量技术对缺陷进行测量，例如：测量凹坑的深度，由于通过光栅扫描及解调过程进行了三维建模，用户可以实时看到凹坑所在区域的三维立体轮廓，并且可以旋转不同角度，从而判断凹坑最低点的选点是否正确，从而验证测量结果的正确性。
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